设备自动化主要系洁净真空机械手和集束型设备，其中包括真空直驱机械手双臂真空直驱机械手一体化真空直驱机械手大负载真空机械手大气机械手晶圆处理系统真空传输平台等，工厂自动化AMHS主要产品有OHTStocker洁净存储系统MR复合机器人等公司半导体装备业务面对的客户群体涵盖半导体工艺设备厂商半。
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